宮崎大学農学部の出身ですが、紆余曲折を経て現在は工学部の材料物理工学科に席を置いています。

どのような研究をしているの？

私たちの研究室は半導体デバイス製造における主要な基盤材料であるシリコン結晶の物性について研究を行っています。
特にデバイス活性領域であるシリコンウエハー表面の重金属不純物の除去を目的として、結晶内部に故意に欠陥をつくり不純物を引き寄せ捕獲しようとする研究です。
電子顕微鏡やＸ線光電子分光装置を用いて、解析を行っています。

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ストレスをためないことと、早寝早起きを心がけています。

メンバー紹介

明石義人教授（平成20年度で退職）
院生2名　　　学部生3名